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材(cái)料本身所具有的性能(néng),必須通過正確的熱處理手段來達到。隻有(yǒu)良好的(de)熱處理手段,才能實現我們預想的性能期望。根據塑封模具材料性能要求,塑封模熱(rè)處理手段主要是高溫淬火、深冷處理、高溫回火,並多次反複,通過這些不同的(de)處理,達到最佳的(de)模具性能。
1、高(gāo)溫淬火
為了提高材料的剛(gāng)性和(hé)耐磨損性,一般(bān)材料均需加(jiā)熱到1030℃以上。高溫下,各種合金元(yuán)素充分溶解於奧氏體內,以便在淬火(huǒ)時獲得高的基體硬度(dù),同時為(wéi)了保證零件(jiàn)不(bú)發生脫碳氧化,相應采用了真空處理。目前半導體行業內使用的(de)高速率氣淬淬火爐,可以在高真空條件下通過氮氣(qì)保護對(duì)工件進行加熱,既(jì)保證了(le)工件的脫碳氧化,又防止了合金元素的蒸發。同時采用200-500Kpa範圍內可調節氣體壓力,對工(gōng)件進行(háng)淬火冷(lěng)卻,在保證工件充分(fèn)淬透的同時又減少了變(biàn)形(xíng)。
2、深冷處理與高溫回火
高合金(jīn)鋼在淬火後,由於其馬氏體轉變點(Ms點)均高於室(shì)溫,為了提高硬度(dù),保證(zhèng)尺寸穩定性,通常要(yào)進行深冷處理和(hé)高溫回火,以保證殘餘奧氏體充分轉變為穩定的回火馬氏體。我們將經過真空淬火(huǒ)後的工件,在室溫至100℃之間進行校正,然後放入-140℃的深冷處理箱中進行深冷。工(gōng)件在不出爐的情況下,可以在-140℃至(zhì)230℃之間進行冷熱循環,保證工件不會因為進出爐而產生變形或開裂。同時由於采用氮氣保護也(yě)避(bì)免了工件在(zài)回(huí)火(huǒ)中的(de)氧化開裂。目前對於D2類材料(liào),我們通常在深冷設備中直接完成-140℃深冷至(zhì)230℃回火(huǒ)的3次循(xún)環。對於高於230℃回火的鋼種如SAM97、ELmax、ASP23等,我們采用了真空回(huí)火爐(lú),在抽(chōu)真空後,加入99.999%的高純氮氣作為介質,通過吹(chuī)風方向的改變來形成對流,保證了工(gōng)件(jiàn)的溫度均勻性,同時節省了(le)回火時間。
3、其它輔(fǔ)助手段
在提高了淬火回(huí)火及深冷(lěng)處理質量的同時,我們同時對工件(jiàn)的其它環節給予了充分的重視(shì),過去認為的熱處理工件潔淨度與(yǔ)處理無關的觀點已經被拋棄,增加潔(jié)淨預處理。即將未入(rù)爐零件(jiàn),通過(guò)真空清洗機進行(háng)真空去油、脫脂、幹燥。去除(chú)了(le)工件(jiàn)的各類加工油汙和碎屑,保證了入爐工件不會帶入其它雜質,避免(miǎn)了在高溫加熱時雜質分解,汙染爐內環境(jìng)和工件本身(shēn),從微觀上保證了工件的組織潔淨度和處理質量(liàng)的完美性,提高了工件的使用壽命。
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